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2019.02.01

半導體廢氣治理:春天將至企業如何應對 ( 來源:北極星環保網 2019/1/29 9:33:58 )

http://huanbao.bjx.com.cn/news/20190129/959977.shtml

半導體廢氣治理:春天將至企業如何應對

來源:北極星環保網    2019/1/29 9:33:58  

北極星VOCs在線訊 :2018年3月12日,生態環境部印發《電子工業污染物排放標準(二次徵求意見稿)》(以下簡稱《二次徵求意見稿》)。經歷了十年時間多次修改後,電子工業污染物排放國家標準終於要出台了。

麒翰科技工程有限公司(以下簡稱“麒翰科技”)總經理高金磊認為,《二次徵求意見稿》的發布就是為了改善電子工業特別是半導體行業污染治理沒有國標的現狀。可以想像,未來電子工業污染治理尤其是半導體廢氣治理或將迎來春天。

麒翰科技總經理高金磊

半導體廢氣治理曙光初現

半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為“清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重,如不加以控制,將會產生較大的環境污染。

據國家統計局數據,截至2016年我國電子元件製造行業規模以上企業數量達5751家。我國的半導體行業市場集中度較高,主要集中在長江三角洲、珠江三角洲、環渤海以及中西部區域。產業的相對集中有利於環保治理的開展。隨著國家對環保的重視,國家和地方相繼發布了半導體行業廢氣排放標準。

2008年6月原環保部發布“電子終端產品”、 “平板顯示器、電真空及光電子器件” “半導體器件” “電子元件”等四項電子工業排放標準徵求意見稿。

2013年原環保部將四項標準合併立項稱為電子工業污染物排放標準,並於2015年10月發布《電子工業污染物排放標準》(徵求意見稿)。

2018年3月原環保部發布了《電子工業污染物排放標準》(二次徵求意見稿)。

相對於國標的難產,地方對於半導體行業VOCs排放控制時間更早些,標準也更嚴苛。

2006年,上海印發《半導體行業污染物排放標準》(DB31/374-2006)。其中規定VOCs最高允許排放濃度為100mg/m 3

2007年北京發布《大氣污染物綜合排放標準》(DB11/501-2007)。其中規定半導體及電子產品製造VOCs的限值現有企業為50mg/m 3,新建企業為20mg/m 3。2018年北京市《電子工業大氣污染物排放標準》(徵求意見稿)。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為20mg/m 3,TVOCs是40mg/m 3

2014年天津市《工業企業揮發性有機化合物排放控制標準》(DB12/524-2014)。其中規定電子工業VOCs最高允許排放濃度為80mg/m 3

2017年廣東發布《電子工業揮發性有機物排放標準》(徵求意見稿)。其中規定VOCs最高允許排放濃度為30mg/m 3

2017年廣東發布《電子設備製造業揮發性有機化合物排放標準》(徵求意見稿)。其中規定VOCs最高允許排放濃度為40mg/m 3

2018年江蘇省《半導體行業污染物排放標準》(徵求意見稿)。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m 3

就此看來,半導體行業VOCs排放標準逐漸收緊是必然趨勢。高金磊表示,相比台灣,大陸的半導體排放標準相對寬鬆。在環保的大背景下,半導體VOCs治理是大勢所趨。在台灣半導體VOCs治理領域,麒翰科技業績非常良好,希望能為大陸的半導體VOCs治理貢獻自己的一份力量。

行業問題猶存

雖然,各地政府發布了很多半導體廢氣治理的相關政策,但相對其他行業,半導體廢氣治理相對滯後,同時整個半導體廢氣治理行業還存在著一些問題。

首先,國家排放標準缺失。

半導體產業發達的國家和地區,如美國、德國等都針對半導體行業製訂了相應的排放標準,但我國尚未頒布半導體行業的排放標準。半導體行業仍在執行國家大氣污染物綜合排放標准或者參照執行地方標準,標準的缺失,給日常監管帶來諸多不便。

半導體行業目前參照國家《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996),僅對排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等規定了排放限值,國內地方行業標準只有1~3個指標,不能面對行業排放污染物較多的實際問題;缺少行業特徵污染物項目如苯系物、異丙醇、醛酮類、乙酸酯類等作為VOCs控制指標,也不能反映行業的生產特殊性。

高金磊認為,目前我國沒有電子行業VOCs的標準限值標準,無法實現或者滿足VOCs監控工作的需求。令人欣慰的是,部分地方政府出台的一些排放標準增加了半導體行業的特徵污染物如異丙醇、丙酮等。

其次,治污效果不如人意。

當前半導體企業治污技術雖然很多但效果往往不盡人意。許多半導體企業都上了廢氣治理措施,但超標排污現象依然存在。

高金磊表示,目前半導體廢氣治理市場亂象叢生。很多半導體企業在選擇治理技術時往往具有很強的盲目性,看到別的半導體企業採用什麼技術路線就會選擇相同的工藝,很少考慮企業自身的實際情況,導致花了冤枉錢治理效果還不理想。另外一些企業治理設施運行不當,導致廢氣排放量大,部分作業地點濃度比較高。還有一些企業認為只要通過環保驗收就可以高枕無憂了,而疏於維護管理導致不能發揮正常治污效果。有的企業廢氣吸附處理裝置內活性炭長期未更換,已飽和,起不到吸附作用。既達不到預期治理效果,也造成污染治理設施資源浪費。

最後,企業對環保不重視。

企業對環保工作重視程度不夠、廢氣治理設施建設滯後。半導體屬於高技術產業,輕微的污染就有可能造成非常嚴重的後果。舉個例子,隨著半導體製程不斷的升級提高,尺寸進納米級時代,對於半導體生產環境的要求越來越高,半導體潔淨室內AMC的控制標準也提高了很多。AMC的尺寸比粒子要小得多, 相差幾個數量級, 高效過濾器(HEPA) 或者超高效過濾器(ULPA) 根本無法去除AMC。

高金磊強調,魔鬼藏在細節裡。AMC在生產過程中對不同製程產生不良的影響,嚴重時可能對產品造成致命的缺陷而影響良率。因此半導體企業一定要提高認識,重視AMC的控制,選擇有效的控制技術從而提高產品良率。

基於半導體廢氣治理的現狀,高金磊表示,麒翰科技希望能為半導體廢氣治理提供一種性價比高的技術,讓半導體企業有更多的技術選擇。

技術公司優勢凸顯

隨著一批單純追求規模、盲目擴張的企業倒下,業內人士認為,技術型公司迎來了發展機遇。

作為一家以技術見長的公司,麒翰科技在空氣污染防治與溶劑回收處理方面一直走在行業前列。公司擁有全世界最先進的外氣空調箱(MAU)水力薄膜吸收AMC控制技術,並在台積電、友達光電等企業應用,取得了非常不錯的效果。

高金磊表示,環保技術複雜且綜合。麒翰科技堅持做技術,一是因為自己本身就是技術出身,而且公司有一個技術團隊。二是技術公司能夠做到社會效益和經濟效益相結合。另外技術是創新的根本,一個企業甚至一個民族要想發展,技術創新是核心競爭力。

麒翰科技是高科技產業空氣污染防治及質量技術的專家,深耕高科技產業(IC/TFT-LCD/LED/PV/Li -Battery etc. )空氣污染防技術; 例如, 揮發性有機廢氣揮發性有機廢氣(VOC)處理、酸鹼處理、酸鹼洗滌塔、潔淨室氣態分子污染(AMC)控制技術、 高沸點VOCs 廢氣溶劑回收處理、酸性廢氣溶劑回收處理、酸性/鹼性/有機煙霧(白煙)處理、NOx(黃煙)處理, 異味(DMS 醋酸etc.)及溶劑回收問題超過二十年,並且已經發展出多項高效率溶劑回收及污染防制技術。

高金磊表示,未來麒翰科技還將聚焦半導體行業廢氣治理。麒翰科技堅持技術領先,相信技術的力量,相信技術創新是企業發展的核心競爭力。另外麒翰科技堅持客戶優先,追求高質量的客戶體驗,為客戶提供完整的解決方案。

隨著中國半導體行業的飛速發展,半導體行業廢氣排放達標及監管任務繁重。有效控制半導體生產對環境帶來的影響,促進行業發展健康可持續發展,這是解決半導體行業發展的重要問題。

高金磊強調,重視每個處理系統的效率,防止交叉污染也是半導體廢氣治理的重要部分。目前半導體企業更多是關注末端治理,隨著技術的逐漸成熟,由末端治理轉向源頭控制是未來的發展方向。

最後,高金磊表示對半導體廢氣治理而言,春天將至,至於能否抓住機遇,就看企業如何應對了。

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