服務項目

含砷廢氣局部處理設備

含砷廢氣局部處理設備

局部廢氣處理設備

特點:

1.適合離子植入制程及磊晶制程之局部(尾氣)排氣處理設備。

 

2.以含銅/錳金屬氧化物為主要成分的吸附劑,透過均勻氣流分配技術設計,提升對於含砷廢氣的吸附效能〪

 

3.應用範疇為 IC 半導體產業、TFT-LCD 面板產業之離子植入制程以及 LED 二極體產業之磊晶制程局部(尾氣)廢氣處理〪

 

4.對於砷化氫(AsH3)、磷化氫(PH3)及三氟化硼(BF3)等廢氣有非常優越的吸附效能〪

 

5.使用經驗相當豐富,包括合肥晶合積體電路、合肥長鑫、武漢新芯及重慶華潤等都有採用此技術,對於含砷廢氣有很好的處理效率。

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