優勢介紹
- 有效處理鹽酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、硝酸(HNO3)、王水 (Aqua Regia)、氯化銨(NH4Cl)等酸霧及鹽類。
- 可設置於Local小風量，避免到Central洗滌塔無法處理及增加處理成本。
- 去除煙囪白煙符合環保及觀瞻(企業形象)。
系統特點
- 排氣流經除霧器時，主要以慣性撞擊(inertial impaction) 、直接截取(direct interception)及布朗運動(brownian motion)的方式，將10μm以下的液滴收集，減少煙霧產生。
- 晶圓再生硫酸+雙氧水加熱清洗製程產生大量的酸霧。
- 鹽酸桶槽車加藥、鹽酸配藥桶等發煙鹽酸處理。
- 氨氣回收再利用製程產生的氯化銨鹽類處理。
- 對於無機酸性煙霧不用添加任何化學品調整。
適用產業
- 半導體產業、晶圓再生業。
- TFT-LCD 產業及 LED 二極體產業。
- 酸廢液回收業、電刷電路板業。
- 鹽酸生產工廠。