活性碳流體化床
應用組合設備：冷凝前置系統+電熱式高溫氧化爐
風量：800CMM
處理物質：Cyclopentanone / PGME / PGMEA / TMAH / IPA
製程：晶圓封測
地點：台灣新竹
半導體製造業
活性碳纖維布濃縮系統
應用組合設備：低溫觸媒氧化爐
風量：150CMM
處理物質：IPA / Acetone / PGME / PGMEA / Xylene
製程：晶圓封測
地點：台灣新竹
高效型濕式洗滌塔
風量：120,000CMH
處理物質：HF/HCI/NHO3/H3PO4/H2SO4
製程：積體電路
地點：台灣台南
沸石轉輪
應用組合設備：低溫觸媒氧化爐
風量：400CMM
處理物質：IPA / Acetone / PGME / 甲苯 / 丁酮 / 2-丁氧基乙醇 / 甲基異丁酮 / 環己酮
製程：半導體製程材料
地點：台灣台南
煙霧(酸白煙)處理設備
風量：900CMM
處理物質：酸及鹽類
製程：半導體製程材料
地點：台灣新竹
濕式洗滌塔
風量: 100CMM
處理物質: H2SO4
製程: 半導體製程材料
地點:台灣新竹