強み
塩酸（HCl）、硫酸（H2SO4）、硝酸（HNO3）、王水（Aqua Regia）、塩化アンモニウム（NH4Cl）等の酸性ミストと塩類を除去。 小風量対応のローカルスクラバーとして設置し、セントラルスクラバーでは処理困難、または処理コストがかさむ煙霧を効率的に除去します。 煙突からの白煙を解消することで、環境規制への適合と企業のイメージアップを実現します。特徴
- 廃ガスが除霧装置を通過する際、慣性衝突（Inertial Impaction）、直接遮断（Direct Interception）、ブラウン運動（Brownian Motion）を利用して10μm以下の液滴を捕集し、煙霧の発生を抑制します。
- ウエハー再生における硫酸＋過酸化水素水洗浄工程での高濃度酸性ミスト。
- 塩酸タンクローリーやドラム缶への充填・移送時に発生するヒューム（煙霧）。
- アンモニア回収再利用工程で発生する塩化アンモニウム。
- 無機酸性ミストに対して薬液添加（化学品の調整）が不要なため、維持管理が容易です。
適用產業
- 半導体、ウェーハ再生事業。
- TFT-LCD 産業、LED産業。
- 酸性廃液回収業、プリント基板製造。
- 塩酸製造工場。