優勢介紹
- 廢氣中次微米粉塵0.1~1μm 微粒處理效率(≧90%)。
- 排氣中二氧化矽≧1μm 處理效率(≧90%)。
- 有效處理含有 SiH4、BCl3等等POU廢氣。
- 次微米微粒高去除效率、低保養時間、低操作成本。
系統特點
- 利用文氏管讓氣體 /液體高壓縮後產生核凝結, 使次微米粒成長到大於1微米以上的粒徑，透過介質填充材捕集長大的顆粒，重複多段的微粒成長及捕集達到高去除效率。
- 透過攪拌系統溢流排除顆粒廢液，減少維護。
- 高質傳設計，無須加藥對於酸鹼物質也可達高效率。
適用產業
- 半導體產業。
- TFT-LCD 產業、 LED 二極體產業及矽基太陽能電池產業。